電子芯片生產制造的過程極其復雜,需要在高度潔凈的環境中進行,以避免微小顆粒、有害氣體等對芯片造成污染,影響其性能和可靠性。合理的無塵車間裝修規劃和嚴格規范的安裝要求能夠為芯片生產創造一個穩定、潔凈的環境,提高生產效率和產品質量。
芯片廠房無塵車間的布局應根據芯片制造的工藝流程進行合理設計,確保物料和人員的流動順暢,避免交叉污染。根據芯片制造的工藝要求,確定無塵車間的潔凈度等級。一般來說,車間溫度應控制在22℃±2℃,相對濕度應控制在45%±5%。合理的溫濕度控制不僅能夠保證芯片制造設備的正常運行,還能減少靜電的產生,避免對芯片造成損害。
車間墻面在安裝時,應注意板材之間的密封處理,避免縫隙產生灰塵積聚。在選擇地面材料時,還需考慮其與墻面、設備之間的銜接處理,確保整個車間的密封性和潔凈度。門窗應選用密封性能好、不易變形、易清潔的材料。設置合理的開啟方式和鎖具,便于人員和物料的進出,并確保車間的安全。
根據車間的潔凈度等級和空氣流量要求,選擇合適的空氣過濾器。在安裝過程中,應嚴格按照操作規程進行,確保過濾器的安裝方向正確、密封良好。在空調機組的安裝過程中,應確保空調機組的基礎牢固、水平,機組與風管之間的連接密封良好。
無塵車間的供電系統應采用雙回路供電方式,并配備不間斷電源,以防止突然停電對設備和生產造成影響。車間照明應選用無頻閃、無眩光、防塵的照明燈具。安裝應合理布局,避免產生陰影。
在芯片廠房無塵車間內應設置合理的給水點和排水點,給水點應配備過濾器,防止雜質進入設備和管道;排水點應設置水封裝置,防止異味和有害氣體進入車間。應設置污水處理設施,對車間產生的污水進行處理,達到排放標準后再排放。
無塵車間應設置火災自動報警系統、自動噴水滅火系統、消火栓系統等消防設施。實時監測車間內的火災隱患,并及時發出提醒。設置明顯的疏散指示標志和應急照明,確保人員在危情發生時能夠迅速、安全地疏散。
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