2025-11-20
半導體潔凈室地面系統需滿足嚴格的物理化學性能指標。根據SEMI標準及《電子工業潔凈廠房設計規范》,地面系統應具備以下特性:平整度誤差≤2mm/2m,耐磨轉數≥2000轉,抗壓強度≥80MPa,系統電阻控制在1×10^6~1×10^9Ω。同時需滿足防靜電、耐化學品腐蝕、抗熱沖擊等特殊要求。
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